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圣热涅德瓦朗萨 (埃罗省)

舍韦涅

拉沙佩勒圣欧贝尔

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

马舍普里姆

冈日

米尔勒

国家防灾减灾救灾委员会办公室、应急管理部近日会同自然资源部、水利部、农业农村部、中国气象局、国家林草局等部门对5月份全国自然灾害风险形势进行会商研判。

分析认为，预计5月份，华东南部、华中东南部、华南东北部等地降水偏多，浙江西南部、福建西部、江西中南部、湖南东南部、广东北部、西藏西部、陕西中部、甘肃中部和东部、青海东北部、宁夏等地降水偏多2至5成，易出现强降雨及雷暴、大风、冰雹等强对流天气，洪涝和风雹灾害风险较高。

在地质灾害风险方面，受强降水等因素影响，浙江、安徽、福建、江西、湖北、湖南、广东、广西、重庆、四川、陕西、甘肃、青海等局地发生地质灾害风险较高。

在森林草原火灾风险方面，预计东北、西南、华东、华南等地森林火险等级较高，其中内蒙古东部、黑龙江中北部、四川南部、云南中北部部分地区森林火险等级高。内蒙古东部部分地区草原火险等级较高，局部时段草原火险等级高。

在干旱灾害和大风沙尘灾害风险方面，预计云南大部、贵州西部、四川南部气温较常年同期偏高1至2摄氏度，降水偏少2至5成。云南等地前期干旱持续时间较长，受气温升高和降水持续偏少影响，干旱进一步发展的可能性较大。北方地区冷空气大风活动仍较为频繁。

在农业灾害风险方面，黑龙江、吉林东部降水偏多，局地可能出现春涝。内蒙古东南部、吉林西部、辽宁大部降水偏少，西部传统旱区可能发生旱情。西南地区农业干旱可能加重，其中云南、四川南部、贵州西南部降水仍偏少。南方渍害风险高，华南、长江中下游及以南地区降水偏多。

记者 杜雨敖

5月份全国自然灾害风险形势发布：强对流和强降雨天气或增多

勒蒂耶尔桑

布尔巴雷

舍韦涅

• 游戏类别：冒险解谜
• 游戏大小：790.51M
• 游戏语言：简体中文
• 游戏版本：v1.105

在无限轮回游戏中，天命逆局是一个新推出的玩法，位置在避难所-轮回试炼-天命逆局-诡异复苏，部分玩家不知道怎么玩，下面就为大家带来无限轮回游戏中天命逆局的玩法介绍说明，有需要的玩家可以参考。

无限轮回天命逆局玩法介绍

为期7天，挑战次数无限次。

地图为关卡2的地图，主要玩法就是局内击杀40个怪物只会会有概率爆出5个诡异碎片，但是并不是100%出现，具体概率可以看左上角。越后的关卡爆率越高但是难度也越大。初步测试第10关类似车站3的难度。所以尽力而为，建议刷第8和第9关。

等我们凑齐75个碎片只会就可以兑换一个称号，此称号只是个称呼无任何加成。这个称号全服限定300个，先兑换先得到，不兑换也没事反正没有加成。

在局内击杀40个怪物之后会在地图中出现5个树，探索完这5个树就可以获得诡异碎片。血月满了之后会出现boss，击杀boss可以出现撤离点，撤离成功就可以带出这5个诡异碎片。

总体玩法如上，基本上一把要5分钟，除了第10关都不是100%爆，小编打第9关90概率竟然4次没爆，非酋无疑了。要想获得这个称号，时间成本基本上是在1个小时以上，大家做好准备就行。

为期7天之后，估计会换个模式，这次模式叫做诡异复苏，给的奖励是称号天命者。所以7天之后可能又会有新模式换个名字换个称号奖励。

无限轮回天命逆局玩法介绍说明

莫雷扬

拉布埃克西耶尔

圣让德米内尔瓦 (埃罗省)

某高校推出1元菜3块钱学生就能吃饱 堪称最实在的高校食堂

布列塔尼地区多勒

朗埃兰

塔尔内斯

　　声明中写道：“关于今后的活动，经过成员及工作人员的多次讨论，我们决定让每位成员拥有面对自我的时间，暂时停下脚步，作为充电期，暂停MY FIRST STORY的乐队活动。”文末补充道：“直到有一天回归之日到来。MY FIRST STORY成员／工作人员一同。”

　　对于突如其来的休止消息，网络上涌现出惊讶与支持的声音：“我超爱MY FIRST STORY的音乐！直到你们回来，我会一直等待！！支持你们！”“至今多次被乐队拯救，由衷感谢各位。谢谢！静候重逢之日！”“请好好休息，去想去的地方，吃爱吃的东西，过普通的日子！我们等着！”“太震惊了！会一直等待！！！”等热评刷屏。

　　MY FIRST STORY于2011年夏天在东京涩谷成立，2012年4月以首张完整专辑《MY FIRST STORY》正式出道。此后多次参演全国大型音乐节并与海外艺人合作，是一支颇具人气的摇滚乐队。此次休止虽令粉丝不舍，但更多人选择送上祝福，静待他们充电归来。

MY FIRST STORY宣布活动休止 成员进入充电期静待回归之日

瑞维尼亚克

罗马涅 (伊勒-维莱讷省)

塞尔维扬